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非接觸式高精度位移測量,位移傳感器的技術(shù)突破與應(yīng)用實(shí)踐
2025-05-09

位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件,其非接觸式高分辨率近距離測量技術(shù)正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?;陔娙荨⒓す?、電磁等原理的非接觸式傳感器,通過消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾,實(shí)現(xiàn)了亞微米級位移測量,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航...

  • 2022-07-04

    納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù),是測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一,可以在納米尺度上測量材料的各種力學(xué)性質(zhì),如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等??蛇m用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等等。影響納米壓痕試驗(yàn)的因素很多,主要影響因素可歸納為以下幾種:1.接觸零點(diǎn)的確定2.力和位移的測定包括環(huán)境波動的影響和磁場強(qiáng)度所引起的變化3.卸載曲線...

  • 2022-06-30

    直接鍵合設(shè)備可以配置用于研發(fā),中試線或大批量生產(chǎn),以及任何基于直接或中間層的鍵合工藝,包括復(fù)雜的低溫共價(jià)鍵合。憑借這些技術(shù)和設(shè)備組合,EVG占領(lǐng)了封裝和3D集成,MEMS以及的化合物半導(dǎo)體和SOI基板的市場,保持了地位和主導(dǎo)*。直接鍵合設(shè)備應(yīng)用系統(tǒng)說明:1、粘接系統(tǒng):直接鍵合設(shè)備可提供的總體擁有成本(TCO),并具有多種設(shè)計(jì)功能可優(yōu)化鍵合良率。針對MEMS,3D集成或高級封裝中的不同市場需求,針對鍵合對準(zhǔn)的多個(gè)模塊進(jìn)行了優(yōu)化。2、臨時(shí)粘接系統(tǒng):臨時(shí)鍵合是為薄晶圓或薄薄晶圓提供...

  • 2022-06-17

    便攜式光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。便攜式光學(xué)膜厚儀在操作中需要注意哪些細(xì)節(jié)?1、在當(dāng)下,這類薄膜厚度檢測設(shè)備在很多領(lǐng)域當(dāng)中都發(fā)揮了十分關(guān)鍵的作用,比如工廠、生產(chǎn)加工、半導(dǎo)體行業(yè)等等,大家在檢測之前,必須要確保被檢測物體表面沒有存在彎曲或是變型等情況。2、在進(jìn)行一些表面涂料的檢測時(shí),那么盡可能要保持均勻的狀態(tài),并且快速進(jìn)行測量,否則涂料會...

  • 2022-06-06

    非接觸式電阻測試儀器使用渦電流的測試原理。渦電流可產(chǎn)生一個(gè)磁場,當(dāng)磁場與導(dǎo)電材料接觸時(shí),會在材料中感應(yīng)到渦流。根據(jù)感應(yīng)渦流的電流大小,可以計(jì)算得到該材料的面電阻。技術(shù)的優(yōu)勢:1、是一種非接觸、無損的測量方式,不破壞材料;2、可以測量密封在絕緣層內(nèi)的導(dǎo)電層;3、每秒采樣次數(shù)高達(dá)數(shù)萬次,測量速度快。使用方法:非接觸式電阻測試儀器是指埋入地下的接地體電阻和土壤散流電阻,通常采用型接地電阻測量儀進(jìn)行測量。型測量儀其外形與普通絕緣搖表差不多,也就按習(xí)慣稱為接地電阻搖表。型搖表的外形結(jié)構(gòu)...

  • 2022-06-06

    白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。工作原理:白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形...

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